加州伯克利大学的纳米机电系统

纳米机电系统简介加州伯克利大学的纳米机电系统是一种结合了微电子技术、微机械制造以及光、电、机械等多种技术的复合系统，在纳米尺度上实现机电转换与集成电路的结合。这一系统在微型机械制造与微型电子技术领域有着广泛的应用，为纳米科技进一步发展提供了有力的技术支持。2.纳米机电系统的研究现状纳米机电系统因其在交叉学科领域之间的独特性质而备受关注，目前，美国加州伯克利大学在这一领域的研究取得了重大突破。研究人员通过采用先进的光刻和微机电制造技术，成功地研制出一系列具有多功能和高性能的微型机械装置，并将其应用于生物...